化學合成反應沉積是由兩種或兩種以上的反應原料氣在沉積反應器中相互作用合成得到所需要的無機薄膜或其它材料形式的方法。

低壓下從石墨轉變成金剛石是一個典型的反自發(fā)方向進行的反應，它依靠自發(fā)的氫原子耦合反應的推動來實現。

化學氣相沉積乃是通過化學反應的方式，利用加熱、等離子激勵或光輻射等各種能源，在反應器內使氣態(tài)的化學物質在氣相或氣固界面上經化學反應形成固態(tài)沉積物的技術。

溫度的高低不必用數字來說明，溫標是溫度的數值表示方法。

靜高壓高溫直接轉變合成法，在合成中，除了所需的合成起始材料外，還要加其它催化劑，而讓起始材料在高壓高溫作用下直接轉變或化合成新物質。

在電離真空計中，電子在飛行路途中產生的正離子數，正比于氣體密度n，在一定溫度下正比于氣體的壓力p。因此，可根據離子電流的大小指示真空度。

簡述玻璃真空系統(tǒng)漏氣的原因及防漏措施。

Ni-Cr 和Fe-Cr-Al 合金電熱體的工作溫度是1000℃至1300℃。

雙膜理論中在膜層以外的氣、液兩相主體中，由于流體充分湍動，吸收質濃度是不均勻的。

CVD 工藝希望反應氣體以湍流的形式流動。