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化學氣相沉積
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化學氣相沉積是利用氣態(tài)物質在固態(tài)工件表面進行化學反應,生成固態(tài)沉積物的過程。
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物理氣相沉積
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物理氣相沉積是用物理方法將源物質轉移到氣相中,在基體上形成覆蓋層的方法。
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電鍍
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電鍍是將直流電通過電鍍溶液表面沉積金屬鍍層的工藝過程。
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