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諧振式微傳感器是利用某種諧振子的振動力隨被測量的變化而變化來進行測量的一種傳感器。
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壓力微傳感器廣泛應用于汽車電子:如TPMS(輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng))、發(fā)動機機油壓力傳感器、汽車剎車系統(tǒng)等。
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壓阻式微傳感器是在單晶半導體膜片適當部位擴散形成力敏電阻而構成的。
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