A.閉環(huán)控制 B.半閉環(huán)控制 C.開環(huán)控制 D.補(bǔ)償控制
A.等離子體 B.電子云 C.強(qiáng)激光束 D.電子束
A.基片 B.基材 C.靶材 D.膜層