ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

對于一些復雜的焊接任務，必須依靠焊接機器人與輔助設備作業(yè)過程中同步協(xié)調運動，這需要用到（）。

UTM-A 系列泵，可調節(jié)轉速后會有哪些好處（）？

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

檢漏儀里標準漏孔的作用是（）。

當機器人的運動軌跡需要在現(xiàn)有基礎上沿Y 軸旋轉30°時，可添加指令（），并在每一條運動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。