鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。

進行光刻工藝前的清洗步驟是（）。

新的平坦化方法有哪幾個？（）

厚膜電阻的成分，一是導(dǎo)體顆粒，二是（）。

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

進行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種？（）

下面哪道工序主要是針對晶圓切割之后在顯微鏡下進行晶圓r的外觀檢查，是否有出現(xiàn)廢品？（）

光刻工藝的特點包括（）。