問答題

【簡答題】薄膜要有良好的附著力，必須具有哪些基本特性？

答案： （1）接口層原子之間須有強(qiáng)的化學(xué)鍵結(jié)，最好是有化合物的形成或化學(xué)吸附，理吸附是不夠的
（2）低的殘存應(yīng)力，這可...
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問答題

【簡答題】沉積的薄膜有內(nèi)應(yīng)力的存在，其來源為何？
答案：

（1）薄膜和基材之間的晶格失配
（2）薄膜和基材之間的熱膨脹系數(shù)差異
（3）晶界之間的互擠
問答題

【簡答題】良好的薄膜須具備哪些特性？影響的因素有哪些？
答案： 通俗的定義為在正常狀況下，其應(yīng)用功能不會失效。想要達(dá)到這個(gè)目的，一般而言這層薄膜必須具有堅(jiān)牢的附著力、很低的內(nèi)應(yīng)力、針孔...
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