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填空題超高速機床主軸的結(jié)構(gòu)常采用交流伺服電動機內(nèi)置式集成結(jié)構(gòu)，這種主軸通常被稱為（）

1.填空題精益生產(chǎn)的體系結(jié)構(gòu)中三大支柱是（），（）和（）。

2.填空題敏捷制造的基本思想就是在“競爭？合同？協(xié)同”機制下，實現(xiàn)對市場需求作出（）反應(yīng)的一種生產(chǎn)制造新模式。

3.填空題并行工程的特征為（），（），（），（）。

4.填空題柔性制造系統(tǒng)的組成包括：（），（），（）和一套計算機控制系統(tǒng)。

5.填空題大規(guī)模集成電路的微細制作方法有（），（），（），（），（）。