判斷題熱變形微動(dòng)裝置具有高剛度和無(wú)間隙優(yōu)點(diǎn),并可通過(guò)控制加熱電流得到所需微量位移,但由于熱慣性以及冷卻速度難以精確控制等原因,這種微動(dòng)機(jī)構(gòu)只適用于行程較短、頻率不高的場(chǎng)合。

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