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離子束加工時在真空條件下,將氬、氪、氙燈惰性氣體通過離子源產生離子束,經加速、集束、聚焦后,射到被加工表面上以實現各種加工的方法。
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由于離子的質量遠大于電子,故離子束加工的生產率比電子束高,但表面粗糙度稍差。
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電子束加工是利用電能使電子加速轉換成動能撞擊工件,又轉換成熱能來蝕除金屬的。
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