單項選擇題提高刻蝕速率的方法不包括()。

A.增加刻蝕氣體流量
B.提高溫度
C.降低壓力
D.減小刻蝕面積


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1.單項選擇題刻蝕過程中的側(cè)壁垂直度主要影響()。

A.器件性能
B.材料純度
C.生產(chǎn)效率
D.成本

2.單項選擇題刻蝕機的精度主要取決于()。

A.刻蝕方法
B.刻蝕氣體
C.設(shè)備結(jié)構(gòu)
D.控制系統(tǒng)

3.單項選擇題濕法刻蝕通常使用的刻蝕劑是()。

A.強酸
B.強堿
C.鹽溶液
D.有機溶液

4.單項選擇題干法刻蝕中常用的刻蝕氣體有()。

A.氧氣
B.氮氣
C.氯氣
D.氫氣

5.單項選擇題刻蝕機的主要作用是()。

A.沉積材料
B.去除材料
C.檢測材料
D.合成材料