（）又稱“島式加工單元”。

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

工業(yè)機(jī)器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計(jì)數(shù)器的步驟是（）。

從外圍設(shè)備要重新啟動(dòng)一度暫停的程序，要使用（）輸入。

氣動(dòng)執(zhí)行器的常見故障有（）。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測(cè)氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

當(dāng)機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時(shí)，可添加指令（），并在每一條運(yùn)動(dòng)指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實(shí)現(xiàn)。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

RF 電源適用的設(shè)備是（）。

套簡(jiǎn)滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。