A.靶材B.納米金屬墨水C.不銹鋼真空室D.玻璃觀察窗
A.體積小B.惰性氣體C.無污染D.容易驅(qū)散
A.可調(diào)整排氣速度B.可調(diào)節(jié)腔體真空度C.無需流量調(diào)節(jié)閥D.降低故障風(fēng)險(xiǎn)