問答題例舉出芯片廠中6個(gè)不同的生產(chǎn)區(qū)域并對(duì)每一個(gè)生產(chǎn)區(qū)域做簡(jiǎn)單描述。
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在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么?
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刻蝕工藝有哪兩種類型?簡(jiǎn)單描述各類刻蝕工藝。
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哪種化學(xué)氣體經(jīng)常用來(lái)刻蝕多晶硅?描述刻蝕多晶硅的三個(gè)步驟。
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定義刻蝕速率并描述它的計(jì)算公式。為什么希望有高的刻蝕速率?
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