多項選擇題影響化學氣相沉積的工藝參數(shù)包括（）。
A.沉積溫度的確定
B.反應混合物的選擇
C.系統(tǒng)內(nèi)總壓和氣體總流速
D.原材料的純度
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3.單項選擇題以下哪個化學氣相沉積合成方法要求雙溫區(qū)？（）
A.氧化還原反應
B.化學合成反應
C.熱分解反應
D.化學輸運反應
5.多項選擇題氣凝膠材料由于具有大的比表面積、疏松多孔性能，實現(xiàn)下列哪幾個方面應用？（）
A.保溫隔熱
B.吸附
C.結(jié)構(gòu)材料
D.催化
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納米粒子表面修飾可分為哪四種方法？
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微晶立方氮化硼的性能包括哪些方面？（）
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