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填空題電容式傳感器主要缺點有（）、當電容式傳感器用于變間隙原理進行測量時具有非線性輸出特性。

1.填空題電容式傳感器的優(yōu)點主要有測量范圍大、靈敏度高、動態(tài)響應時間短、機械損失小、（）、適應性強。

2.填空題變極距型電容傳感器做成差動結構后，靈敏度提高原來的（）倍。

3.填空題電容式傳感器利用了將非電量的變化轉換為（）的變化來實現(xiàn)對物理量的測量。

4.填空題要把微小應變引起的微小電阻變化精確地測量出來，需采用特別設計的測量電路，通常采用（）電路。

5.填空題應變式傳感器是利用電阻應變片將應變轉換為電阻變化的傳感器，傳感器由在彈性元件上粘貼電阻敏感元件構成，彈性元件用來感知應變，電阻敏感元件用來將應變的轉換為（）。