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雙頻激光干涉儀不僅用于精密測量,還可用于大型機床的精密定位。
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系統(tǒng)中單元數(shù)目越多,并聯(lián)系統(tǒng)的可靠度越低。
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設(shè)備可靠性指標中的有效度要比可靠度的要求更嚴。
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