UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會(huì)有哪些好處（）？

（）又稱(chēng)“島式加工單元”。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線(xiàn)，其中任何一根線(xiàn)頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

伺服工作時(shí)，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線(xiàn)端子，以防發(fā)生觸電事故。

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。

工業(yè)機(jī)器人在裝配行業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在，一是競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，二是（），三是靈活性。