問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】列出恒定表面源擴(kuò)散的三種主要工藝參數(shù)，并說(shuō)明其含義和主要影響因素。

答案：摻雜劑量（Predeposition dose）：?jiǎn)挝幻娣e硅片內(nèi)的雜質(zhì)數(shù)。
對(duì)于恒定表面源擴(kuò)散，由于...

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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】什么是恒定表面源擴(kuò)散？其擴(kuò)散形成的結(jié)深主要受哪些因素的影響？其中哪一個(gè)影響最主要？為什么？

答案：如果在整個(gè)擴(kuò)散過(guò)程中，硅片表面的雜質(zhì)濃度始終不變，這種類型的擴(kuò)散稱為恒定表面源擴(kuò)散。結(jié)深只與擴(kuò)散時(shí)間t和擴(kuò)散系數(shù)D有關(guān)，...

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】解釋擴(kuò)散系數(shù)及其物理含義，并說(shuō)明影響擴(kuò)散系數(shù)的主要因素是什么，及如何影響？

答案：雜質(zhì)的擴(kuò)散流密度與雜質(zhì)的濃度梯度成正比，將二者之間的比例系數(shù)定義為雜質(zhì)在基體材料中的擴(kuò)散系數(shù)，其單位為cm^2<...