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【簡答題】使用CVD法成長鉆石薄膜,氫元素和碳元素的濃度有何重要性?
答案:
CVD生長鉆石膜的瓶頸乃在避免碳?xì)浠镄纬墒?,因此氫原子?yīng)比碳源多很多。碳源濃度決定了鉆石膜的生長速率,但碳源太高時氫...
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【簡答題】試說明CVD法生長鉆石薄膜之特性?
答案:
為使CVD的鉆石生長順利,碳源常用已具鉆石結(jié)構(gòu)的甲烷。甲烷可視為以氫壓出的單原子鉆石。所以故煮飯時的煤氣含大量懸浮的單原...
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【簡答題】試說明PVD法生長鉆石薄膜之特性?
答案:
PVD沉積鉆石時除撞擊區(qū)的少數(shù)原子外,其它的碳原子乃在真空下,而且溫度很低,因此常被認(rèn)為是低壓法。由于鉆石在低壓為介穩(wěn)定...
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