多項(xiàng)選擇題

影響顯影工藝的因素有（）。

A.曝光度
B.顯影液濃度
C.顯影方法
D.工序的溫度和時(shí)間容量

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多項(xiàng)選擇題

下列哪些是進(jìn)行光刻前的預(yù)處理的步驟？（）

A.脫水烘烤
B.旋轉(zhuǎn)涂布法涂HMDS
C.氣拍涂底法涂HDMS
D.軟烘

多項(xiàng)選擇題

根據(jù)曝光模式，光制機(jī)的種類分為（）。

A.接觸式曝光
B.接近式曝光
C.掃描式曝光
D.投影式曝光