問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】試說(shuō)明熱氧化反應(yīng)為什么發(fā)生在Si—SiO2界面上,以及這種反應(yīng)機(jī)制有何好處?

答案: 在無(wú)定形SiO2的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中,每個(gè)Si原子與四個(gè)氧原子形成共價(jià)鍵,而每個(gè)氧原子最多與兩個(gè)Si原子形...
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答案: 半導(dǎo)體工藝中用熱氧化法生長(zhǎng)的SiO2是典型的無(wú)定形SiO2。無(wú)定形SiO
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答案: 按SiO2的Si-O四面體單元的排列特點(diǎn)將其分為:結(jié)晶形SiO2和無(wú)定形Si...
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