縮寫中文含義 APCVD HDPCVD LPCVD PECVD PVD BJT CD CMOS CMP MIC ILD MBE SOI DUV MOCVD BSG PSG BPSG RTP RTA IC LOCOS STI LI VLSI CA FIB ARC ASIC RIE FIB EUV LDD
1.電阻率的減小。 2.減小了功耗。 3.更高的集成密度。 4.良好的抗電遷徙性能。 5.更少的工藝步驟。
最新試題
金屬化中可選用的金屬材料有()。
下面哪道工序主要是針對晶圓切割之后在顯微鏡下進行晶圓r的外觀檢查,是否有出現(xiàn)廢品?()
新的平坦化方法有哪幾個?()
摻雜后退火時間一般在()。
CMP的設(shè)備構(gòu)成包括()。
刻蝕過程中聚合物形成的來源有()。
封裝工藝中,銀漿固化的溫度為()。
進行溝槽填充常用的金屬材料是()。
IC集成度和性能得以不斷提高的理論基礎(chǔ)是()。
影響封裝芯片特性的溫度有()。