填空題

大規(guī)模集成電路的微細制作方法有（），（），（），（），（）。

答案：延生長技術(shù)；氧化；光刻；選擇擴散；真空鍍膜

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常用的看板有（），（）兩種。

答案：傳送看板；生產(chǎn)看板

快速原型制造技術(shù)的熔絲沉積成形法通常采用的原材料是（）。

答案：熱熔塑料絲