判斷題外延生長(zhǎng)過程中雜質(zhì)的對(duì)流擴(kuò)散效應(yīng)，特別是高濃度一側(cè)向異側(cè)端的擴(kuò)散，不僅使界面附近濃度分布偏離了理想情況下的突變分布而形成緩變，且只有在離界面稍遠(yuǎn)處才保持理想狀態(tài)下的均勻分布，使外延層有效厚度變窄。
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