多項(xiàng)選擇題RF 電源適用的設(shè)備是（）。

A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning


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1.多項(xiàng)選擇題RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會發(fā)生哪些異常（）？

A.放電不穩(wěn)定
B.匹配不穩(wěn)定
C.Pr 殘存
D.成膜慢

2.多項(xiàng)選擇題下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

A.RF 電源
B.DC 電源
C.MF 電源
D.EB 電源

3.多項(xiàng)選擇題下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。

A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列

4.多項(xiàng)選擇題EnDpointDeteCtion 方法有（）。

A.原子分子發(fā)射光譜
B.吸收光譜
C.光干涉
D.目視觀察

5.多項(xiàng)選擇題檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

A.電離氣體分子
B.接受氣體離子
C.給電離子加速
D.測試氣體離子