問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】定義刻蝕選擇比。干法刻蝕的選擇比是高還是低？高選擇比意味著什么？

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【簡(jiǎn)答題】刻蝕工藝有哪兩種類(lèi)型？簡(jiǎn)單描述各類(lèi)刻蝕工藝。

答案：刻蝕工藝：干法刻蝕和濕法刻蝕。
干法刻蝕是把硅片表面曝露于氣態(tài)中產(chǎn)生的等離子體，等離子體通過(guò)光刻膠中開(kāi)出的窗口...