問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】什么叫集成電路？寫出集成電路發(fā)展的五個(gè)時(shí)代及晶體管的數(shù)量？

答案：

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【論述題】應(yīng)力分為壓應(yīng)力和張應(yīng)力，下圖的形狀是由于哪種應(yīng)力產(chǎn)生的？請(qǐng)?jiān)趫D上標(biāo)出應(yīng)力的方向。如果要讓上面的結(jié)構(gòu)材料變得平整，要怎么做？

答案：張應(yīng)力（張的時(shí)候產(chǎn)生的應(yīng)力）與壓應(yīng)力（壓的時(shí)候產(chǎn)生的應(yīng)力）
在張應(yīng)力作用下，薄膜會(huì)相對(duì)襯底進(jìn)行...

問(wèn)答題

【論述題】在MEMS加工中，為了精確控制腐蝕深度，有哪幾種腐蝕停止技術(shù)，分別說(shuō)一下其腐蝕停止原理。

答案：腐蝕停止目的：為了精確控制腐蝕深度.P++腐蝕停止技術(shù)（形成重?fù)诫sB層）：Si的濕法腐蝕速率在B摻雜濃度<1×10