問答題

【簡答題】SiO₂膜網絡結構特點是什么？氧和雜質在SiO₂網絡結構中的作用和用途是什么？對SiO₂膜性能有哪些影響？

答案：

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【簡答題】異質外延對襯底和外延層有什么要求？

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【簡答題】硅氣相外延工藝采用的襯底不是準確的晶向，通常偏離（100）或（111）等晶向一個小角度，為什么？

答案：從硅氣相外延工藝原理可知，硅外延生長的表面外延過程是外延劑在襯底表面被吸附后分解出Si原子，他遷移到達結點位置停留，之后...