判斷題

熱擴散摻雜的工藝可以一步實現(xiàn)。

答案：錯誤

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替位式擴散就是替位雜質(zhì)和鄰近晶格位置上的原子互換。

答案：錯誤

雜質(zhì)在硅晶體中的擴散機制主要有兩種：間隙式擴散、替位式擴散。其中間隙式擴散比替位式擴散困難。

答案：錯誤