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問答題
【簡答題】氣體凈化的方法有哪些？
答案：
吸收，吸附，化學(xué)催化，冷凝。
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問答題
【簡答題】CVD法的過程和細(xì)節(jié)分別是什么？
答案：
（1）反應(yīng)氣體向基片表面擴(kuò)散：
（2）反應(yīng)氣體吸附于基片的表面，
（3）在基片表面上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；<...
（2）反應(yīng)氣體吸附于基片的表面，
（3）在基片表面上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；<...
