問答題

【簡答題】簡述鋁互連的優(yōu)缺點。

答案：優(yōu)點：①電阻率低；
②鋁的成本低；
③與硅和二氧化硅的粘附性好；
④易于沉積成膜（蒸發(fā)、濺...

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【簡答題】簡述高能離子轟擊的內(nèi)容。

答案： ①離子反射（能量很?。?；
②離子吸附（<10eV），能量轉(zhuǎn)化熱能；
③離子注入（>10keV），能量...

【簡答題】簡述電鍍的優(yōu)缺點。

答案：

優(yōu)點：非常好的間隙填充能力，成本低、溫度低。
缺點：需要導(dǎo)電種子層，控制復(fù)雜。