問答題

【簡答題】簡述電遷移現(xiàn)象及解決方法。

答案：當(dāng)金屬線流過大密度的電流時，電子和金屬原子的碰撞引起金屬原子的移動導(dǎo)致金屬原子的消耗和堆積。電遷移現(xiàn)象會造成金屬線開路、...

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【簡答題】簡述鋁的結(jié)穿刺現(xiàn)象及解決方法。

答案：在純鋁和硅的界面加熱合金化過程中（450～500℃），硅開始溶解在鋁中直到在鋁中的濃度達(dá)到0.5％，該過程消耗硅并在硅中...

【簡答題】簡述鋁互連的優(yōu)缺點。

答案：優(yōu)點：①電阻率低；
②鋁的成本低；
③與硅和二氧化硅的粘附性好；
④易于沉積成膜（蒸發(fā)、濺...