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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】光刻的作用是什么?列舉兩種常用曝光方式。
答案:
光刻是集成電路加工過(guò)程中的重要工序,作用是把掩模版上的圖形轉(zhuǎn)換成晶圓上的器件結(jié)構(gòu)。
曝光方式:接觸式和非接觸式。
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答案:
任何半導(dǎo)體器件及IC都是一系列相聯(lián)系的基本單元的組合,如導(dǎo)體、半導(dǎo)體及在基片不同層上形成的不同尺寸的隔離材料等。要制作出...
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