A.防止擴散油分子回流到真空室 B.加快排氣速度 C.防止雜物掉入擴散泵 D.提高膜層附著力
A、紅色 B、綠色 C、藍色 D、沒有規(guī)律
A、使同圈的膜層厚度分布均勻 B、使內外排膜層厚度分布均勻 C、使同圈溫度分布均勻 D、使內外排溫度分布均勻