A、蒸發(fā)速率穩(wěn)定情況 B、APC充氧情況 C、電子槍光斑位置及大小情況 D、光控曲線的走向及形狀.
A、EB1上方的修正板升起 B、EB2上方的修正板升起 C、EB1上方的修正板下降 D、EB2上方的修正板下降
A、光學(xué)膜厚儀控制 B、電子槍控制 C、晶振膜厚儀控制 D、電腦控制