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填空題
半導(dǎo)體材料可根據(jù)其性能、晶體結(jié)構(gòu)、結(jié)晶程度、化學(xué)組成分類。比較通用的則是根據(jù)其化學(xué)組成可分為()半導(dǎo)體、()半導(dǎo)體、固溶半導(dǎo)體三大類。
答案:
元素;化合物
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填空題
雜質(zhì)原子在半導(dǎo)體中的擴(kuò)散機(jī)理比較復(fù)雜,但主要可分為()擴(kuò)散和()擴(kuò)散兩種。
答案:
替位;間隙
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填空題
熱分解化學(xué)氣相淀積二氧化硅是利用()化合物,經(jīng)過熱分解反應(yīng),在基片表面淀積二氧化硅。
答案:
含有硅的化合物
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