問(wèn)答題

【論述題】以P₂O₅為例，多晶硅中雜質(zhì)擴(kuò)散的方式及分布情況。

答案：在多晶硅薄膜中進(jìn)行雜質(zhì)擴(kuò)散的擴(kuò)散方式與單晶硅中的方式是不同的，因?yàn)槎嗑Ч柚杏芯Яｉg界存在，所以雜質(zhì)原子主要沿著晶粒間界進(jìn)...

你可能感興趣的試題

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】寫(xiě)出菲克第一定律和第二定律的表達(dá)式，并解釋其含義。

答案：費(fèi)克第一定律：C雜質(zhì)濃度；D擴(kuò)散系數(shù)（單位為cm2/s）J材料凈流量（單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)單位面積的原子個(gè)數(shù)）解釋?zhuān)喝绻谝粋€(gè)...

問(wèn)答題

【論述題】雜質(zhì)原子的擴(kuò)散方式有哪幾種？它們各自發(fā)生的條件是什么？從原子擴(kuò)散的角度舉例說(shuō)明氧化增強(qiáng)擴(kuò)散和氧化阻滯擴(kuò)散的機(jī)理。

答案： ①交換式：兩相鄰原子由于有足夠高的能量，互相交換位置。②空位式：由于有晶格空位，相鄰原子能移動(dòng)過(guò)來(lái)。③填隙式：在空隙中的...