問答題

【論述題】簡述雜質(zhì)在SiO2的存在形式及如何調(diào)節(jié)SiO2的物理性質(zhì)。

答案: 熱氧化層中可能存在各種雜質(zhì),某些最常見的雜質(zhì)是與水有關(guān)的化合物,其結(jié)構(gòu)如圖所示。如果氧化層在生長中有水存在,一種可能發(fā)生...
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問答題

【論述題】

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答案: 以P2O2雜質(zhì)源為例來說明SiO2的掩蔽過程:當(dāng)P
問答題

【論述題】說明SiO2的結(jié)構(gòu)和性質(zhì),并簡述結(jié)晶型SiO2和無定形SiO2的區(qū)別。

答案: 結(jié)晶形SiO2——由Si-O四面體在空間規(guī)則排列構(gòu)成每個頂角的O原子與兩個...
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