多項選擇題

光刻膠主要由（）等不同材料混合而成的。

A.樹脂
B.感光劑
C.HMDS
D.溶劑
E.PMMA

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單項選擇題

用g線和i線進行曝光時通常使用哪種光刻膠（）。

A.ARC
B.HMDS
C.正膠
D.負膠

單項選擇題

光刻的主要工藝流程按照操作順序是（）。

A.涂膠、前烘、曝光、堅膜、顯影、去膠
B.涂膠、前烘、堅膜、曝光、顯影、去膠
C.涂膠、前烘、曝光、顯影、堅膜、去膠
D.前烘、涂膠、曝光、堅膜、顯影、去膠

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