多項(xiàng)選擇題

光刻膠的光學(xué)穩(wěn)定通過(guò)（）來(lái)完成的。

A.紅外線(xiàn)輻射
B.X射線(xiàn)照射
C.加熱
D.紫外光輻射
E.電子束掃描

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