單項(xiàng)選擇題

（）是通過把被蒸物體加熱，利用被蒸物在高溫時(shí)的飽和蒸汽壓來進(jìn)行薄膜沉積的。

A.蒸鍍
B.濺射
C.離子注入
D.CVD

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