下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）

金屬化中可選用的金屬材料有（）。

碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢(shì)之一。

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。

摻雜后，退火的目的是（）。

CMP的設(shè)備構(gòu)成包括（）。

摻雜后退火時(shí)間一般在（）。

硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項(xiàng)？（）

化學(xué)機(jī)械拋光液的主要成分不包括的是哪個(gè)？（）

下面哪個(gè)選項(xiàng)不是集成電路工藝用化學(xué)氣體質(zhì)量的指標(biāo)？（）