填空題

制造電子器件的基本半導(dǎo)體材料是圓形單晶薄片，稱(chēng)為硅片或（）。在硅片制造廠，由硅片生產(chǎn)的半導(dǎo)體產(chǎn)品，又被稱(chēng)為（）或（）。

答案：硅襯底；微芯片；芯片

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集成電路的制造分為五個(gè)階段，分別為（）、（）、硅片測(cè)試和揀選、（）、終測(cè)。

答案：硅片的制備；硅片制造；裝配和封裝

集成電路的發(fā)展時(shí)代分為（）、中規(guī)模集成電路MSI、（）、超大規(guī)模集成電路VLSI、（）。

答案：小規(guī)模集成電路SSI；大規(guī)模集成電路LSI；甚大規(guī)模集成電路ULSI