判斷題

離子注入的缺點(diǎn)之一是注入設(shè)備的復(fù)雜性。

答案：正確

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離子注入物質(zhì)必須以帶電粒子束或離子束的形式存在。

答案：正確

離子注入是一個(gè)物理過(guò)程，不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

答案：正確