問答題

【簡答題】簡述溝道效應(yīng)的含義及其對離子注入可能造成的影響如何避免？

答案：對晶體進行離子注入時，當(dāng)離子注入的方向與與晶體的某個晶向平行時，一些離子將沿溝道運動，受到的核阻止作用很小，而且溝道中的...

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【簡答題】簡述離子注入工藝中退火的主要作用？

答案：由于離子注入所造成的損傷區(qū)及畸形團，增加了散射中心及陷阱能級，使遷移率和壽命等半導(dǎo)體參數(shù)下降。此外，大部分的離子在被注入...

【簡答題】擴散摻雜與離子注入摻雜所形成的雜質(zhì)濃度分布各自的特點是什么？與擴散摻雜相比離子注入摻雜的優(yōu)勢與缺點各是什么？

答案：擴散雜質(zhì)所形成的濃度分布：雜質(zhì)摻雜主要是由高溫的擴散方式來完成，雜質(zhì)原子通過氣相源或摻雜過的氧化物擴散或淀積到硅晶片的表...