單項(xiàng)選擇題浸入式光刻技術(shù)可以使193nm光刻工藝的最小線寬減小到45nm以下。它通過采用折射率高的液體代替透鏡組件間的空氣，達(dá)到（）的目的。
A.增大光源波長；
B.減小光源波長；
C.減小光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑；
D.增大光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑。
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1.單項(xiàng)選擇題如果淀積的膜在臺階上過度地變薄，就容易導(dǎo)致高的膜應(yīng)力、電短路或者在器件中產(chǎn)生不希望的（）。
A. 誘生電荷
B. 鳥嘴效應(yīng)
C. 陷阱電荷
D. 可移動電荷
2.多項(xiàng)選擇題采用二氧化硅薄膜作為柵極氧化層，是利用其具有的（）
A.高電阻率；
B.高化學(xué)穩(wěn)定性；
C.低介電常數(shù)；
D.高介電強(qiáng)度。
3.單項(xiàng)選擇題微電子器件對加工環(huán)境的空氣潔凈度有著嚴(yán)格的要求。我國潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001中，100級的含義是：每立方米空氣中大于等于0.1m的懸浮粒子的最大允許個數(shù)為（）
A.35；
B.100；
C.102；
D.237。
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