單項選擇題微納圖案制備技術(shù)中最為適合大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)的是哪種?()

A.光刻
B.印刷
C.打印
D.卷對卷制備


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1.多項選擇題微納圖案制備過程中所用到的印刷方法包括哪些?()

A.凸版印刷
B.軟刻蝕
C.絲網(wǎng)印刷
D.納米壓印

2.多項選擇題化學(xué)氣相沉積(CVD)按照反應(yīng)氣壓進行分類,可以分為()。

A.常壓化學(xué)氣相沉積
B.低壓化學(xué)氣相沉積
C.等離子體增強化學(xué)氣相沉積
D.高壓氣相沉積

3.單項選擇題以下哪項不是化學(xué)氣相沉積(CVD)的特點?()

A.薄膜成分易控
B.溫度高
C.均勻性
D.臺階的覆蓋性好

4.多項選擇題以下哪些是蒸發(fā)沉積的要素?()

A.真空
B.氧氣
C.加熱
D.溫度較低基片

5.多項選擇題實現(xiàn)應(yīng)變隔離的方法有哪些?()

A.整體硬化
B.局部硬化
C.整體軟化
D.局部軟化