對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。

（）又稱“島式加工單元”。

使用氦氣檢漏的原因是（）。

套簡(jiǎn)滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開(kāi)口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。

熔斷器長(zhǎng)期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時(shí)間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會(huì)發(fā)生（）的危險(xiǎn)。

伺服工作時(shí)，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？