RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

（）又稱“島式加工單元”。

UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

伺服工作時(shí)，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時(shí)間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會(huì)發(fā)生（）的危險(xiǎn)。